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激光仪器在测量导轨直线度上的应用

发布时间:2019/8/8 8:56:08   来源:安昂传动   作者:admin   浏览量:1390

 

激光仪器在测量导轨直线度上的应用

测量前的准备

  (1)将各测量元件按所测项目的需要正确地安装妥善。光学元件尽可能地靠近反射镜。反射镜尽量贴近被测面,以减小阿贝偏离误差,提高测量精确性。

  (2)严格地将激光束对准(或平行于)运动件的运动轴线,以减少测量中的余弦误差;一般要将余弦误差控制在o.5um以内。

  (3)测定周围的环境温度、空气压力、相对湿度和工件材料温度,并利用补偿系数手册算出补偿值,再将补偿值输入到激光显示器上的拨盘开关里,以正确地补偿由于周围条件变化所引起的激光波长变化和机床导轨长度的胀缩变化。

测量坐标水平方向的直线度

  测量所需的光学元件有:激光测量仪、显示器、平直度干涉仪、光学直角镜、垂直直线度测量附件和计算器。

  直线度干涉仪包括一个渥拉斯登棱镜和一个直线度反射乎亘镜。渥拉斯登棱镜由两块晶体棱镜按图中标明的光轴方向粘合而成。入射光的垂直偏振光向一个方向偏转,而水平偏振光则以相同角度向相反方向偏转。直线度反镜由两块平面镜构成。二平面镜的夹角等于双频激光束通过渥拉斯登棱镜时经双折射而产生的发散角。渥拉斯登棱镜的棱线与反射镜二平面的交线平行。二面角的二等分面与待检查的导轨面平行。当棱镜或反射镜沿导轨方向移动时,若在垂直方向发生位移,则汇合光束二个频率的光程差发生变化。与测量线性位移一样,可以由计数器标出并转换在显示器上显示出来。

  测量同一条直线在水平面和垂直面上的直线度时仪器的安装教麻烦,它们之间不同的是将直线度反射镜转过了90°。数据记录和计算方式同于水平仪测量。

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